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在综合考虑刀具几何参数、刀具振动和最小切削厚度等因素对已加工表面形貌影响的前提下编写了表面微观形貌的仿真程序,在仿真时把一个随机振动信号成功地叠加在理论表面粗糙度中.提出一种建立圆弧刃金刚石车刀超精密车削表面粗糙度模型的新方法.结果表明,仿真得到的表面微观形貌,能够比较正确地反映出超精密加工将要获得的表面轮廓.