光电集成加速度地震检波器中声光波导相位调制器的设计与实验

• 作 者: 张燕君 陈才和 钟娟娟 崔宇明 吴波
• 机 构: 天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室
• 出 处: 纳米技术与精密工程
• 发表日期: 2005年1期
• 关键词: 光波导 光电集成 相位调制器 叉指换能器 MOEMS 声表面波(SAW) 微光机电系统 IDT 硅基底 设计 acousto-optic phase modul
• 基金项目: 国家自然科学基金

提出了一种新型的光电集成加速度地震检波器,这是一种全新的微光机电系统(MOEMS).为实现硅基底上的光波导M-Z干涉仪的相位调制,采用了声光相位调制的方法.该相位调制器利用叉指换能器(IDT)激发出声表面波(SAW)实现对光波导的相位调制.在对光波导声光相位调制机理深入研究的基础上,设计并制作了器件.实验结果与理论相一致.