多层膜结构对硬度实验影响的数值分析

来源 :力学与实践 | 被引量 : 0次 | 上传用户：superheron

【摘要】

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为了研究多层膜结构对纳米微硬度实验的影响，用FEPG对纳米微硬度实验中压头的压入过程进行数值模拟，分析了由TiN，Al，Ti组成的多层膜中软膜材料不同、软膜与硬膜厚度比不同以及多

【作者】

：

刘瑛门玉涛李林安成广庆

【机构】

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天津大学力学系

【出处】

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力学与实践

【发表日期】

：

2006年1期

【关键词】

：

硬度多层膜数值分析

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为了研究多层膜结构对纳米微硬度实验的影响，用FEPG对纳米微硬度实验中压头的压入过程进行数值模拟，分析了由TiN，Al，Ti组成的多层膜中软膜材料不同、软膜与硬膜厚度比不同以及多层膜层数不同对膜层体系产生的影响，得出梯度变化的膜层结构能够提高膜层的整体性能，为纳米微硬度实验提供了一定的参考依据．

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