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电化学和抛光轮复合平面抛光技术电化学和抛光轮复合抛光（Ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌｂｕｆｆｉｎｇ，ＥＣＢ）是一种亚微米级表面粗糙度的抛光技术。该技术对制造ＵＬＳＩ（极大规模集成电路）和提高超真空系统性能都具有优良的效果．１ＥＣＢ原理ＥＣＢ又称为电解...
电化学和抛光轮复合平面抛光技术
【摘 要】
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电化学和抛光轮复合平面抛光技术电化学和抛光轮复合抛光（Ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌｂｕｆｆｉｎｇ，ＥＣＢ）是一种亚微米级表面粗糙度的抛光技术。该技术对制造ＵＬＳＩ（极大规模集成电路）和提高超真空系统性能都具有优良的效果．１ＥＣＢ原理ＥＣＢ又称
【出 处】
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航空精密制造技术
【发表日期】
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1995年2期
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