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无束腰的磁浸没透镜系统的理论研究和数值模拟
无束腰的磁浸没透镜系统的理论研究和数值模拟
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dinosonic
【摘 要】
:
采用曲轴坐标系统,导出了磁浸没透镜的宽束曲光轴理论,研究了初始正则角动量矩不为零的无束腰磁透镜系统的电子光学性质;数值模拟出了能产生缩倍聚场分布的磁透镜结构,并计算了具
【作 者】
:
程敏
唐天同
【机 构】
:
西安交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
2000年5期
【关键词】
:
磁浸没透镜
无束腰
曲光轴
芯片
曝光系统
Magnetic immersed lense
Without crossover
Curved optical a
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采用曲轴坐标系统,导出了磁浸没透镜的宽束曲光轴理论,研究了初始正则角动量矩不为零的无束腰磁透镜系统的电子光学性质;数值模拟出了能产生缩倍聚场分布的磁透镜结构,并计算了具有解析表达式的缩倍聚场的高斯成像性质,计算结果与传统的直接计算轨迹的方法一致。
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