RuO2／Pt复合电极对BST梯度薄膜介电性能的影响

• 作 者: 项超 王今朝
• 机 构: 湖北大学材料科学与工程学院
• 出 处: 湖北大学学报(自然科学版)
• 发表日期: 2008年4期
• 关键词: 复合电极 BST薄膜 磁控溅射 介电性 漏电流密度 hybrid electrodes BST thin film sputtering technolog

采用直流磁控溅射方法在Ti／SiO2／Si（100）衬底上制备RuO2／Pt复合电极，研究在复合电极上沉积的BST薄膜的微观结构及其对BST梯度薄膜电学性能的影响．实验结果表明：沉积在RuO2／Pt复合电极上的BST梯度薄膜在测试频率为100kHz时，介电常数为324．8，介电损耗为0．0189在75kV／cm外电场下漏电流密度为1．29×10^-6A／cm^2；在Pt电极和RuO2／Pt复合电极上分别制备的BST薄膜的介电损耗和漏电流基本上相似，没有太大的区别．但在375kV／cm外电场下Ru