【摘 要】
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本文探讨了氦质谱检漏仪的维修问题。介绍了对检漏仪的灵敏度随时间下降时所采取的对策。探讨了氦质谱检漏仪上所用的一些国产扩散泵油。介绍了该系统中真空抽不上，冷规指示不
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本文探讨了氦质谱检漏仪的维修问题。介绍了对检漏仪的灵敏度随时间下降时所采取的对策。探讨了氦质谱检漏仪上所用的一些国产扩散泵油。介绍了该系统中真空抽不上，冷规指示不稳以及测试周期不能循环时所采取的对策。
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