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以当代最先进的自动化工厂（FA）走势为依据,结合化学机械抛光（CMP）系统的实际应用需求,提出了解决工业自动化通信协议SECS／GEM的应用问题。叙述了GEM的通信状态、控制状态和实现GEM的设计思路,并举例说明了GEM中的消息配方。实践表明,我国自动化设备领域对GEM的需求是非常迫切的。
GEM标准在CMP系统上的应用
【摘 要】
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以当代最先进的自动化工厂（FA）走势为依据,结合化学机械抛光（CMP）系统的实际应用需求,提出了解决工业自动化通信协议SECS／GEM的应用问题。叙述了GEM的通信状态、控制状态和实现GEM
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2016年5期
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