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【摘 要】
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通过建立的SiCN/Si薄膜/基体系统，提出了一种分析纳米压痕过程中材料塑性性能的方法。用有限元方法模拟了纳米压痕过程，通过比对模拟和实验所得的载荷—压深曲线，反复修正，得到了
【机 构】
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温州大学机电工程学院
【出 处】
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工业技术创新
【发表日期】
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2017年2期
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