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针对利用灰度掩模制作连续微光学元件的方法 ,介绍了从元件结构到灰度图形的转换 ,灰度图形的修正 ,灰度图形的数字化以及图形编码等关键步骤。最后给出生成微透镜列阵掩模图形的实例。
形成连续微光学元件的灰度掩模图形生成方法
【摘 要】
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针对利用灰度掩模制作连续微光学元件的方法 ,介绍了从元件结构到灰度图形的转换 ,灰度图形的修正 ,灰度图形的数字化以及图形编码等关键步骤。最后给出生成微透镜列阵掩模图
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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2000年2期
【基金项目】
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中国科学院光电技术研究所所长基金资助!( JK980 5 )
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