【摘 要】
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针对高功率激光器中使用的激光晶体关键元件,开展了晶体的先进加工技术的研究。根据LBO及YCOB晶体材料的加工特性,选取了定向切割、研磨、预抛光、磁流变抛光、合成盘抛光和
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电学院,中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【基金项目】
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国家自然科学基金联合基金项目（U1230110）,国家科技重大专项（20132X04006011）
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针对高功率激光器中使用的激光晶体关键元件,开展了晶体的先进加工技术的研究。根据LBO及YCOB晶体材料的加工特性,选取了定向切割、研磨、预抛光、磁流变抛光、合成盘抛光和机械化学抛光的总体技术路线。对不同种类晶体加工设计了不同的工艺路线,开展了相关加工工艺研究。其中LBO晶体的面形收敛工艺主要采用磁流变抛光,YCOB晶体的面形工艺主要采用合成盘抛光。通过组合加工工艺,获得了高质量的晶体加工指标,LBO晶体透射波前0.12λ（λ=632.8nm）,粗糙度0.77nm;YCOB晶体面形0.11λ,粗糙度0.68
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