【摘 要】
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在VLSI制造中,保持洁净的环境和严格控制微粒的污染是非常重要的.在已经蚀刻的晶片上,线宽和线间的距离都是非常微小,如果在上面有一颗微粒,就意味着线间的间隙产生了不完全
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在VLSI制造中,保持洁净的环境和严格控制微粒的污染是非常重要的.在已经蚀刻的晶片上,线宽和线间的距离都是非常微小,如果在上面有一颗微粒,就意味着线间的间隙产生了不完全蚀刻,形成了不希望产生的电桥,不但是物理缺陷,还要引起电气故障.
In VLSI manufacturing, it is important to maintain a clean environment and to strictly control the contamination of the particles. In an already etched wafer, the line width and the distance between the lines are very small. If there is a particle on it, it means that the line The gap between the incomplete etching, the formation of the bridge does not want to produce, not only physical defects, but also cause electrical failure.
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