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本文论述和研究了化学气相沉积金刚石薄膜的不同途径，并对各种不同方法进行了分析和评价。同时，对金刚石薄膜在工业上的应用进行了介绍。研究表明，金刚石镀膜技术在工业上有着巨大的应用潜力。
化学气相沉积金刚石薄膜研究及应用
【摘 要】
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本文论述和研究了化学气相沉积金刚石薄膜的不同途径，并对各种不同方法进行了分析和评价。同时，对金刚石薄膜在工业上的应用进行了介绍。研究表明，金刚石镀膜技术在工业上有着巨
【机 构】
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大连教育学院
【出 处】
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五金科技
【发表日期】
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1998年5期
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