论文部分内容阅读
本文采用光助溶胶-凝胶法制备了掺铝氧化锌（AZo）透明导电薄膜．研究了紫外光照射对薄膜导电性和透光性质的影响．结果表明：光照使薄膜的导电性显著提高，且光照后薄膜方阻的降低幅度随薄膜晶粒尺寸的减小而逐渐增加；而随着紫外光照射时间延长，薄膜的紫外吸收边蓝移，近红外区透光率降低．以上实验现象可能与表面吸附氧解吸引起的载流子浓度增加、迁移率升高以及分层退火处理形成的薄膜结构有关．