微通道热沉设计技术初探

来源 :2004第四届精密工程学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mint_z

【摘要】

：

半导体器件越小,单位面积的热生成率越大,温度急剧升高导致器件性能改变,因此必须对器件产生的废热进行有效处理.1981年,Tuckerman和Pease提出了利用强迫对流方法致冷微通道的概念,可用于高速电脑芯片、激光二极管阵列、无线电与微波频率放大器等高功率电子器件的有效散热.本文介绍了微通道热沉的相关物理概念,讨论了几何参数对歧管式微通道热沉冷却性能的影响.

【作者】

：

刘婷婷高杨李磊明胡莉

【机构】

：

西南科技大学,信息与控制工程学院,四川,绵阳,621010;中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900

【出处】

：

2004第四届精密工程学术研讨会

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

MEMS 微通道冷却器微通道热沉

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