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随着微纳加工技术的发展,微纳尺度下材料的热物性参量测量变得尤为重要.首先介绍了飞秒激光测量微纳尺度下材料热物性参量的基本原理、测量系统的实现方法,对比了所采用的双温模型、双曲两步辐射模型、双曲一步模型、抛物一步模型、双相滞模型和抛物两步模型等主要的传热模型.其次,介绍了飞秒激光测量物性参量的基本特点.然后,介绍了单波长正面抽运与探测系统、双波长正面抽运及探测和加热探测不同侧3 种常见结构的飞秒激光物性测量系统.最后,展望了飞秒激光物性测量的研究方向.