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本文对新型高真空元件进行了介绍,如:金属密封圈、卡钳等。在真空技术国,为了减少污染,金属密封圈在高真空的获得中得到了广泛应用。金属密封连接方式能抗辐射、耐烘烤,并可运用于低温环境中。为了在有限的通道空间中节省安装时间,卡钳已经被用于固定快速释放法兰接头,以及带铜垫圈的标准合并法兰。现在介绍的是一种改进型CE兼容垫圈,它由三种不同的材料(铝、铜和镍)制成,可减小所需的密封力。本文还介绍了一种改进后适