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【摘 要】
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采用ＬＰ－ＭＯＣＶＤ和ＬＰＥ相结合，成功地研制了吸收型部分增益耦合ＭＱＷ－ＤＦＢ激光器，扫描显微镜照片显示了清晰的被掩埋的吸收型增益耦合光栅，表明光栅掩埋生长前升温过程磷烷的保护是成功的。
【机 构】
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国家光电子工艺中心,集成光电子学国家重点联合实验室,中国科学院半导体研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1996年3期
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