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针对激光位移传感器测距精度受光束入射角影响的问题,给出了一种测量入射角与位移测量精度之间关系的实验方法。通过实验得出如下结论:随着入射角α的增大,传感器测得的距离小于实际距离,其值随α的增大而增大。对于不同的被测表面,当α小于一定角度时,位移测量误差受α影响较小,而当α大于这一角度时,测量误差明显增大,甚至出现测量失真。而且,相同入射角α情况下,被测件表面光洁度高,则测量误差小。