CVD法生长ZnS红外光学晶体材料

• 作 者: 吴绍华 李颖昱 张明 何宇 朱凯 夏青松 子光平 应飞飞 王
• 机 构: 云南北方驰宏光电有限公司
• 出 处: 云光技术
• 发表日期: 2015年1期
• 关键词: 化学气相沉积 ZNS 晶体生长

采用化学气相沉积（CVD）法，在zn-H2s-Ar体系中生长用于红外光学透镜、窗口等光学元件制造的透明ZnS晶体。测定了ZnS样品的XRD谱和红外透过光谱。研究结果表明：通过优化的生长技术工艺条件，可以制备出立方结构高光学质量透明ZnS晶体；在8～12μm长波红外波段的平均透过率达72％以上，在3～5μm中波红外波段的平均透过率达70％以上。