采用分子束外延生长的高性能Si／SiGe异质结双极晶体管

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yulu0355

【摘要】

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采用分子束外延生长的高性能Ｓｉ／ＳｉＧｅ异质结双极晶体管＝Ｈｉｇｈ－ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅＳｉ／ＳｉＧｅｈｅｔｅｒｏｊｕｎｃｔｉｏｎｂｉｐｏｌａｒｔｒａｎｓｉｓｔｏｒｓｇｒｏｗｎｂｙｍｏｌｅｃｕ－ｌａｒ－ｂｅａｍｅｐｉｔａｘｙ［刊，英］／Ｇｒｕｈｌｅ... High-performance Si / SiGe Heterojunction Bipolar Transistor with Molecular Beam Epitaxy Growth = High-perfor

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

1994年03期

【关键词】

：

SiGe 分子束外延生长电流增益外延层渡越相位噪声方块电阻组份

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