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随着微机电系统的发展及其应用领域的不断扩大,微器件和微机电系统中涉及到许多微流动问题,流体在微尺度槽道中流动的研究引起了人们的重视.随着尺寸的微小化,在宏观流动中可忽略的一些影响因素变得重要起来,由于尺度效应、表面效应等因素的影响,微小槽道中的流动呈现出一些与宏观流动不同的现象.因而对微流动的研究现状进行综述,并对影响微流动的尺度效应、表面力、气泡、相对表面粗糙度及流体极性等因素进行分析.