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来源 :中国科技论文 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
将温度效应考虑在内,建立了一对填充多壁碳纳米管的硅过孔阻抗模型,利用该模型计算了一对硅过孔的正向传输系数S21、串扰及延时等物理量,并分析了这些物理量随温度、TSV(Throu
【作 者】
:
苏晋荣
陈雪
张文梅
【机 构】
:
山西大学物理电子工程学院,太原师范学院物理系
【出 处】
:
中国科技论文
【发表日期】
:
2016年14期
【关键词】
:
微电子学与固体电子学
多壁碳纳米管
硅过孔
正向传输系数
串扰
延时
microelectronics and solid-state electronics
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