【摘 要】
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在平行光互接应用的光收发器中，光纤对准占据了光电封装成本的一大部分。文章研究的光发送器和接收器由工作波长950nm的垂直腔面发射激光器（VCSELs）和谐振腔增强型（RCE）光检测器组
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在平行光互接应用的光收发器中，光纤对准占据了光电封装成本的一大部分。文章研究的光发送器和接收器由工作波长950nm的垂直腔面发射激光器（VCSELs）和谐振腔增强型（RCE）光检测器组成，并键合到单个双极型互补金属氧化物半导体（BiCMOS）芯片上。考虑到性能与生产成本，对不同的组装结构进行了研究。最终选择了利用倒装技术将光芯片键合到集成电路（IC）的方法。为实现光纤的被动无源对准，提出了在一片倒装焊了光芯片的IC上方叠放的硅片上蚀刻孔的设想。目前这样一种测试装置已由法国LETI开发出来，并通过它证明了采
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