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光电流瞬态谱中半绝缘砷化镓的EL2峰的研究
光电流瞬态谱中半绝缘砷化镓的EL2峰的研究
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guoyurun
【摘 要】
:
本文用加栅的光电流瞬态谱(PICTS)方法研究了半绝缘砷化镓材料的深能级缺陷,发现加栅后可使PICTS对EL2等靠近禁带中央的缺陷变得灵敏,并分析了其中原因,认为材料中费米能级位置对PICTS结果有影响。
【作 者】
:
龚大卫
孙恒慧
【机 构】
:
复旦大学李政道物理学综合实验室,复旦大学李政道物理学综合实验室上海200433,上海200433
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1993年11期
【关键词】
:
砷化镓
光电流
瞬态谱
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本文用加栅的光电流瞬态谱(PICTS)方法研究了半绝缘砷化镓材料的深能级缺陷,发现加栅后可使PICTS对EL2等靠近禁带中央的缺陷变得灵敏,并分析了其中原因,认为材料中费米能级位置对PICTS结果有影响。
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