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【摘 要】
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采用水热腐蚀技术制备了表面同时具有规则阵列结构和多孔结构的硅微米／纳米结构复合体系硅纳米孔柱阵列（Si-NPA），并测试了其电阻酒敏特性。结果表明：Si-NPA对酒精具有较高的灵敏度
【机 构】
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郑州大学物理系材料物理教育部重点实验室
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2006年12期
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