【摘 要】
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相比其他诸如音圈和检流计之类的驱动器,压电陶瓷驱动的偏转台和扫描镜具有更快的加速度和更高的带宽,采用位移传感器的闭环系统具有很高的定位精度。针对扫描范围±1 mr
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相比其他诸如音圈和检流计之类的驱动器,压电陶瓷驱动的偏转台和扫描镜具有更快的加速度和更高的带宽,采用位移传感器的闭环系统具有很高的定位精度。针对扫描范围±1 mrad,分辨率几个μrad的激光扫描系统技术要求,提出了以压电陶瓷驱动的偏转镜为核心部件的扫描系统。该系统采用两通道16位D/A,经过数模转换后送功率放大器放大后控制摆镜偏转,系统采用了电阻应变片位移传感器的闭环控制,提高了定位精度。测试表明采用压电陶瓷驱动的偏摆镜分辨率达到0.4μrad,线性度达到4μrad,重复定位精度达到1μrad
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