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锗烷的分解爆炸──爆炸火焰的传播及爆炸极限压力堀口贞兹，近藤重雄，浦野洋吉１序言在半导体工业中，使用的气体种类很多，其中有的气体毒性和爆炸危险性很高，处理时必须注意。锗烷（ＧｅＨ４）是其中的一种。在硅系半导体制造中，它被用于ＣＶＤ过程、外延过程、扩散...
锗烷的分解爆炸：爆炸火焰的传播及爆炸极限压力
【摘 要】
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锗烷的分解爆炸──爆炸火焰的传播及爆炸极限压力堀口贞兹，近藤重雄，浦野洋吉１序言在半导体工业中，使用的气体种类很多，其中有的气体毒性和爆炸危险性很高，处理时必须注意。锗烷（ＧｅＨ４）是
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1994年2期
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