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异质外延层的性能和质量,往往取决于异质结构的特性。文章讨论了Ge_xSi-(1-x)/Si 应变层和应变层超晶格中的应变、位错和临界厚度,并比较了实验结果。
GexSi1—xSi应变层和超晶格及其临界厚度
【摘 要】
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异质外延层的性能和质量,往往取决于异质结构的特性。文章讨论了Ge_xSi-(1-x)/Si 应变层和应变层超晶格中的应变、位错和临界厚度,并比较了实验结果。
【机 构】
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重庆光电技术研究所高级工程师
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1993年1期
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