【摘 要】
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一、引言二次离子质谱法是采用质量分析方法检测固体表面受离子轰击后发射出来的正二次离子或负二次离子。二次离子质谱法用英文首字母缩写为SIMS。其特点是有高的表面灵敏
【机 构】
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北京大学物理化学研究所,北京大学物理化学研究所 北京 100871,北京 100871
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一、引言二次离子质谱法是采用质量分析方法检测固体表面受离子轰击后发射出来的正二次离子或负二次离子。二次离子质谱法用英文首字母缩写为SIMS。其特点是有高的表面灵敏度。检测范围为表面1—2个原子层,检测极限一般小于10~(-6)表面单层。它能检测氢及其化合物,这是AES、XPS等表面技术所不能做到的。由于它的质量分辨率高,还可以鉴别同位素。通过对表面离子碎片的质量检测可以研究表面的化学组成、
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