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碳纳米管（CNT）将在未来的片上互连制造中扮演重要的角色。CNT具有许多独特的性能，包括负载超过109A／cm^2的高密度电流的能力，这比常规导线约高三个数量级；超高的热传导率，电子能够沿着碳纳米管进行弹道式输运；以及非常好的机械强度，而且还不会发生电迁移（EM）。
碳纳米管：诱人的互连替代方案
【摘 要】
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碳纳米管（CNT）将在未来的片上互连制造中扮演重要的角色。CNT具有许多独特的性能，包括负载超过109A／cm^2的高密度电流的能力，这比常规导线约高三个数量级；超高的热传导率，电子能够沿
【机 构】
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SemiconductorIntemational主编
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2007年7期
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