【摘 要】
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1.引 言 在惯性测量系统中,惯性敏感器件——陀螺仪和加速度计是其重要的组成部分,同时也是制约仪表小型化和微型化的瓶颈。长期以来人们一直在探寻使其小型化的途径和方法,
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1.引 言 在惯性测量系统中,惯性敏感器件——陀螺仪和加速度计是其重要的组成部分,同时也是制约仪表小型化和微型化的瓶颈。长期以来人们一直在探寻使其小型化的途径和方法,基于微机电技术研究设计微型惯性测量系统一直是值得关注的领域。2.微型惯性测量装置的特征 2.1微惯性测量装置 微惯性测量装置包括微加速度计、微陀螺仪和微惯性测量组合。微惯性测量系统技术的基础
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