【摘 要】
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因为在生产多晶硅过程中会产生大量的四氯化硅,如何对其进行有效处理将会影响到了企业绿色生产、成本控制以及能量消耗等方面内容。当前较为常用的四氯化硅氢化技术包括了热
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因为在生产多晶硅过程中会产生大量的四氯化硅,如何对其进行有效处理将会影响到了企业绿色生产、成本控制以及能量消耗等方面内容。当前较为常用的四氯化硅氢化技术包括了热氢化与冷氢化两类,其中冷氢化技术其在成本控制以及节能减排等方面具有显著优势。为此,文章将对四氯化硅冷氢化工艺中热量优化利用的有效方法进行分析与探讨,以供参考。
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