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气体在电场作用下可形成导电能力。研究发现气体中微量水汽的存在对此导电能力具有极为灵敏的作用。本文阐述了低电压气体导电机理及其敏感效应。研制了一种低电压微功耗微型电极系统实现自持暗放电，使通常气体导电必需的高电压降低了一个多数量级，仅为几百伏。基于低电压气体导电机理的湿敏传感器的水汽分压强灵敏度优于１Ｐａ／ｎＡ，反应时间优于一秒。上述结果表明：气体低湿度快速测量是实际可能的。