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透明导电氧化物(TCO)薄膜In2O3∶Sn和SnO2∶F都已经发展成熟,分别大规模应用于平板显示器和建筑两大领域.最近几年,TCO薄膜的研究又进入了一次复兴时期,研究和开发出几类具有明显特色的新型TCO薄膜.ZnO基TCO薄膜有替代In2O3∶Sn薄膜的趋势;多元TCO薄膜材料可以调整其性能来满足某些特殊应用的需求;具有高载流子迁移率的In2O3∶Mo薄膜为进一步提高TCO薄膜的性能打开了一条新路;真正的p型TCO薄膜为制造透明电子元器件迈出了第一步.