GaN-based ultraviolet microdisk laser diode grown on Si

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This work reports a demonstration of electrically injected GaN-based near-ultraviolet microdisk laser diodes with a lasing wavelength of 386.3?nm at room temperature. The crack-free laser structure was epitaxially grown on Si substrates using an Al-composed down-graded AlN/AlGaN multilayer buffer to mitigate the mismatches in the lattice constant and coefficient of thermal expansion, and processed into “sandwich-like” microdisk structures with a radius of 12?μm. Air-bridge electrodes were successfully fabricated to enable the device electrical characterization. The electrically pumped lasing of the as-fabricated microdisk laser diodes was evidenced by the rapid narrowing down of electroluminescence spectra and dramatic increase in the light output power, as the current exceeded the threshold of 248?mA.
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