【摘 要】
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由于Nd:YAG激光器的发展,使其在半导体加工方面出现了一些新的应用。 Q开关Nd:YAG激光器已经成为一种微电路加工工具。大多数厂家都选择它进行厚膜和薄膜电阻的微调。通过采
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由于Nd:YAG激光器的发展,使其在半导体加工方面出现了一些新的应用。 Q开关Nd:YAG激光器已经成为一种微电路加工工具。大多数厂家都选择它进行厚膜和薄膜电阻的微调。通过采用切断连接线以激活存贮器元件的方法来修整半导体存贮器是Nd:YAG激光系统的一种比较新的和迅速发展的生产应用[参阅L&A,Apr.1985,32*]。
Due to the development of Nd: YAG laser, it has some new applications in semiconductor processing. Q-switched Nd: YAG lasers have become a type of micro-circuit processing tool. Most manufacturers choose it for fine-tuning of thick and thin film resistors. Trimming the semiconductor memory by cutting the connection lines to activate the memory elements is a relatively new and rapidly growing production application of Nd: YAG laser systems [see L & A, Apr. 1985, 32 *].
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