【摘 要】
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随着纳米薄膜沉积技术的发展,基于薄膜热电偶的瞬态温度测量技术在多种场合得到广泛应用.为实现薄膜热电偶在铣削加工中的应用,提出了一种高性能薄膜热电偶的制备方法.通过直
【机 构】
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大连交通大学机械工程学院 大连116028
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随着纳米薄膜沉积技术的发展,基于薄膜热电偶的瞬态温度测量技术在多种场合得到广泛应用.为实现薄膜热电偶在铣削加工中的应用,提出了一种高性能薄膜热电偶的制备方法.通过直流脉冲磁控溅射技术在石英基底上制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶,并于氩气气氛进行不同温度的退火,研究了退火对薄膜热电偶综合性能的影响.结果 表明,500℃退火的功能薄膜均匀性、导电性均有显著的提高,薄膜热电偶的塞贝克系数由退火前的36.3μV/℃增大到最大值40.5 μV/℃,在连续热冲击和高温保持6h后测温性能仍保持良好.将高性能薄膜热电偶研究成果用于测温铣刀的研制,并用于TC4正交铣削,得到了TC4铣削温度预测公式,为旋转类刀具加工温度的测量提供了一种可行性方案.
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