基于平行板电容器的材料表面形貌测量仪

• 作 者: 白雪琪 廖琨 唐际杰 张谷令 邹斌
• 机 构: 中央民族大学理学院
• 出 处: 物理实验
• 发表日期: 2019年2期
• 关键词: 平行板电容器 表面形貌 厚度 parallel plate capacitorsurface topographythickness
• 基金项目: 国家自然科学基金资助项目(No:61675238,61775244),中央民族大学本科生科研训练计划资助项目(No.GCCX2017110004),中央民族大学自主科研项目(No.2018QNPY52).

利用平行板电容器的原理设计了材料表面形貌测量仪,将探针与电容器下极板固连,当探针在不平整的样品表面扫描时,两极板间距发生改变而引起电容变化.通过LabVIEW编程控制平移台蛇形移动,用平行板电容器厚度测试电路测量pF量级的电容改变值.两极板初始距离为50~200μm的工作范围内,测量误差稳定在2μm.通过实时捕捉探针的坐标和极板间距的变化量,该测量仪可以绘制出三维曲面图.