【摘 要】
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抛光垫修整臂的新设计能在抛光垫和修整盘对使用寿命期间,采用闭环控制(CLC)提高修整性能。测得的抛光垫修整器的力矩用于在现场实时监控修整和抛光过程。通过调节修整器的下
【机 构】
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Applied Materials,Inc.,
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抛光垫修整臂的新设计能在抛光垫和修整盘对使用寿命期间,采用闭环控制(CLC)提高修整性能。测得的抛光垫修整器的力矩用于在现场实时监控修整和抛光过程。通过调节修整器的下压力以补偿工艺的偏移(例如,随修整盘老化而引起的金刚石研磨性的损失),CLC系统在整个抛光垫使用寿命期间维持工艺性能。
Polishing pad The new design for the dressing arm enables closed-loop control (CLC) to improve dressing performance over the life of polishing pads and trimming trays. The measured torque of the polishing pad dresser is used to monitor the dressing and polishing process in real time in the field. The CLC system maintains process performance throughout the life of the polishing pad by adjusting the under-pressure of the dresser to compensate for process variations (eg, loss of diamond grindability as the dresser ages).
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