【摘 要】
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目前,国内用于硅外延工艺的超纯SiCl_4,通常都是采用精馏法提纯的.从原理上讲,精馏法是靠SiCl_4与各种杂质氯化物的沸点不同来实现精馏去杂的.(这种方法,是先将低沸点的氯化
【机 构】
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目前,国内用于硅外延工艺的超纯SiCl_4,通常都是采用精馏法提纯的.从原理上讲,精馏法是靠SiCl_4与各种杂质氯化物的沸点不同来实现精馏去杂的.(这种方法,是先将低沸点的氯化物放掉,再将SiCl_4逐步精馏出来,最后留下的是高沸点.)采用这种方法,对于去除绝大部分的金属杂质氯化物,特别是去除非极性的重金属杂质和避免试剂杂质的沾污,
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