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本文在简单介绍了ＭＥＭＳ传感器的基础上，重点介绍了在ＭＥＭＳ传感器构成的测量系统，及其在高过载低量程测量中的应用。
MEMS传感器在动态测试中的应用
【摘 要】
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本文在简单介绍了ＭＥＭＳ传感器的基础上，重点介绍了在ＭＥＭＳ传感器构成的测量系统，及其在高过载低量程测量中的应用。
【机 构】
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华北工学院,无锡总参工程兵研究一所
【出 处】
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测试技术学报
【发表日期】
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1998年3期
【基金项目】
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国家杰出青年基金资助项目,资助号:59725512
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