【摘 要】
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微电子机械作为一门新兴学科 ,正在世界范围内受到重视与关注。以往出现在美国科幻影片中的情节 ,正由科学家们的智慧与力量逐步变为现实。微电子机械加工与传统的机械加工不
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微电子机械作为一门新兴学科 ,正在世界范围内受到重视与关注。以往出现在美国科幻影片中的情节 ,正由科学家们的智慧与力量逐步变为现实。微电子机械加工与传统的机械加工不同。后者一般是采用车、钳、刨、铣等形式加工的 ,而微电子机械加工却包含有几层意思 ,一是用微电子方
As a new discipline, microelectronic machinery is receiving attention and attention all over the world. The past episodes that appeared in the science fiction films in the United States are being gradually realized by the wisdom and strength of scientists. Microelectromechanical machining is different from traditional machining. The latter is generally the use of cars, pliers, planing, milling and other forms of processing, and microelectromechanical processing contains several layers of meanings, one with micro-electronics side
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