【摘 要】
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<正> 日本东洋炭素公司已开发超高纯石墨(灰含量2ppm)用于半导体制造没备的原料,产品已供国内外用户使用。新产品的基础原料是均质高密度石墨,其相关的碳粒子经特殊的处理,但
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<正> 日本东洋炭素公司已开发超高纯石墨(灰含量2ppm)用于半导体制造没备的原料,产品已供国内外用户使用。新产品的基础原料是均质高密度石墨,其相关的碳粒子经特殊的处理,但其详情尚未公布。随着集成电路块的集成密度和大硅片应用的增加,对石墨原料除杂的需要更趋提高,该公司已工业化,可提供高纯石墨的灰含量为12ppm,新产品的物理性能为:松密
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