大型天文望远镜主镜镀膜技术

• 作 者: 杜维川 刘洪祥 裴文俊 王长军
• 机 构: 中国科学院光电技术研究所,中国科学院研究生院
• 出 处: 强激光与粒子束
• 发表日期: 2012年2期
• 关键词: 均匀性 反射率 环境稳定性 主镜 镀膜 uniformity reflectance environment stability primary mirr

采取主镜镜面向上真空蒸镀制备方式，开展了大型天文望远镜主镜铝加介质保护反射膜技术研究。结合ZZS3200型镀膜设备真空室几何配置，对传统膜厚分布计算物理模型进行了修正，分别分析了铝膜与介质膜层膜厚均匀性。结果表明：理论分析与实验数据一致，直径2．4m范围内膜厚不均匀性约5．5％。通过优化工艺，成功制备出1．8m平面镜薄膜元件，在350-1800nm波段范围内，膜层平均反射率88．6％，通过了环境稳定性测验。