【摘 要】
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<正> 电子工业的发展是以材料的发展为基础的。半导体器件的性能改进、稳定与提高,在很大程度上取决于所用材料的质量,而且,这也是实现工业化大生产、降低成本的关键。半导体
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<正> 电子工业的发展是以材料的发展为基础的。半导体器件的性能改进、稳定与提高,在很大程度上取决于所用材料的质量,而且,这也是实现工业化大生产、降低成本的关键。半导体器件,尤其是大规模和超大规模集成电路生产中,几乎各工序都需要不同品种、不同质量的电子气和超纯气;大型石油化工装置自动化仪表需要多种规格的标准气、校正气
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