【摘 要】
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采用离子束溅射法制备Al/Pb纳米多层膜,其XRD图谱表明,仅有Pb的衍射峰出现,而无Al相或其他新相产生;经250℃退火或15天的时效后,样品中均同时出现Al和Pb的衍射峰,但仍然没有
【机 构】
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曲靖师范学院物理与电子工程学院,昆明理工大学新材料制备与加工重点实验室
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采用离子束溅射法制备Al/Pb纳米多层膜,其XRD图谱表明,仅有Pb的衍射峰出现,而无Al相或其他新相产生;经250℃退火或15天的时效后,样品中均同时出现Al和Pb的衍射峰,但仍然没有其他新相生成。SEM、TEM观察表明,Al/Pb纳米多层膜表面并非均匀一致,而是由颗粒和空隙组成,时效或热处理均能改善膜层的表面粗糙度,但也使得多层膜中的Pb膜发生碎化,进而使得Pb从Al膜中析出并发生团簇。
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