【摘 要】
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前言早在四十年代末期Castaing和Guinier首先把电子光学图象和x射线分析结合起来,开始了用电子束打击样品产生x射线的微区分折技术。近二十多年来,由于电子技术的不断发展,
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前言早在四十年代末期Castaing和Guinier首先把电子光学图象和x射线分析结合起来,开始了用电子束打击样品产生x射线的微区分折技术。近二十多年来,由于电子技术的不断发展,能使分析区域缩小到微束以下,测量的下限甚至低到10~(-6)—10~(-9)(浓度),各式各样的新式仪器陆续出现,这些仪器现在已被应用到冶金、电子、环境污染、生物化学、病理学等等的各门科学领域的研究中,促进了有关学科的发展。把电子显微镜配上x射线能谱仪
Preface Castaing and Guinier first combined electronic optical imaging with x-ray analysis as early as the late 1940s to begin the microfabrication of x-rays by electron beam striking a sample. In recent twenty years, due to the continuous development of electronic technology, the analysis area can be reduced to below the microbeam, and the measurement lower limit is as low as 10 -6 to 10 -9. These new instruments have appeared one after another. These instruments have now been applied to various fields of science such as metallurgy, electronics, environmental pollution, biochemistry and pathology, which have promoted the development of related disciplines. The electron microscope coupled with x-ray spectrometer
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