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微器件装配技术是微机械的关键技术之一，本文从微器件装配系统的特性和功能出发，提出了一套微装配系统设计方案，并对系统各个组成部分进行分析，介绍了系统实现的方法。
微器件装配系统总体方案研究
【摘 要】
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微器件装配技术是微机械的关键技术之一，本文从微器件装配系统的特性和功能出发，提出了一套微装配系统设计方案，并对系统各个组成部分进行分析，介绍了系统实现的方法。
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1998年4期
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