【摘 要】
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1.前言在离子镀膜中作为建立等离子体源的放电阴极,应该满足以下条件:(1) 结构简单;(2) 开始放电容易;(3) 能提供大电流;(4) 使用后可暴露大气;(5) 长寿命;(6) 耐蒸镀金属离
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1.前言在离子镀膜中作为建立等离子体源的放电阴极,应该满足以下条件:(1) 结构简单;(2) 开始放电容易;(3) 能提供大电流;(4) 使用后可暴露大气;(5) 长寿命;(6) 耐蒸镀金属离子的反向轰击。先看一下早期的阴极:直热式钨灯丝的最大缺点是满足不了(3)、(5)项条件,而氧
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